고, 양이온이 된 Ar이 타겟 인듐틴쪽으로 달라붙으면서 튀어나온 인듐틴이 산소와 반응하여 인듐틴옥사이드(ITO)가 형성되면서 기판에 달라붙는 것이다.
두께 측정은 Dektak3를 이용하여 Length는 1000로 speed설정은 Low 50초동안 측정하였다. 원리는 증착되지 않은 부분을 '0'이라 두고 상대적인 높이를 측정하는 것이다. 일반적으로 사용되는 박막의 두께는 150~160인데 우리가 측정한 값은 150로 비교적 사용하기 좋은 두께가 나왔다.
ITO와 같은 투명전극에서는 박막의 두께가 아주 중요한 요인이 된다. 두께에 따라서 투과율과 반사율이 달라지기 때문이다. 두께가 너무 많이 두꺼워지면 반사율이 커지고 빛의 간섭이 많아져 투과율이 작아질 것이고, 너무 얇으면 전기전도가 떨어지기 때문이다. 따라서 최대한 얇게, 최대한 전기전도도를 높게 하는게 이 실험의 목표라고 할 수 있겠다. 다행히도 우리가 측정한 두께와 비저항 모두 사용하기 적합한 수준으로 나왔다. 또 결과값으로 그려본 그래프에서도 투과율이 꽤 높은 것으로 보아 효율적인 재료가 만들어 졌다는 것을 알 수 있다.
또 보고서를 작성하면서 여러 자료들을 보고 알게된 사실인데 박막 증착시의 실험 조건들, 즉 Base pressure나 타겟의 조성비, 기판과 타겟과의 거리, 증착시의 온도 등에 따라 박막 증착의 결과 가 다르게 나올 수 있다는 것을 알았다. 물론, 타겟과의 거리가 가까우면 빠른 시간에 증착이 잘 될것이고, 또 전력이 크면 클수록 전자가 Ar 가스에 더 빨리 많이 충돌할 것이다. 이런 조건들을 조절해 최고의 실험조건을 만들어보면 더 훌륭한 박막재료를 만들 수 있을 것이다.
다만 아쉬운 점이 있다면, 실험하기에 시간이 부족해 우리가 실험 할 수 있는 많은 부분을 조교님들께서 해주시면서 급히 실험을 마무리 지었다는 것이다. 아직 2학년이고, 박막에 대한 지식도 부족했고 처음 접해본 분야였지만 직접 실험을 해보니 박막이라는 기술이 유리에도 그 얇은 전극을 증착시켜 전기를 통하게 한다는 것과 그런 기술이 우리가 자주 접하는 전자 제품들에서 벌써 쓰이고 있다는 것이 너무 신기했고 조금이나마 그 원리에 대해서 알아낸 것 같아서 유익했던 실험 이었다.
참고문헌
1. http://www.icm.re.kr/ 재료 연구 정보센터 재료DB>실험노트
2 재료공학 실험 Ⅱ1주차 수업자료
3. http://cafe.naver.com/reporthong