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공통점
기체 분자의 운동에 따른 저항의 변화에 의한 진공도를 측정하는 방법이다.
●두 진공계의 차이점
피라니진공계 - 기체분자가 운동을 하여 필라멘트에 충돌하여 필라멘트의 열을 빼앗으면 이때 필라멘트가 열을 빼앗기므로 저항이 감
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크지 않고, 융점은 3,650K로 매우 높기 때문에 필라멘트로 많이 사용되며, 일반적으로 필라멘트에 직접 전류를 가하여 약 2,700K까지 가열한다. 전자총
렌즈
조리개 (Aperature)
축조정 코일
주사 코일
비점수차 보정 코일(Stigmator)
진공계
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진공계 등 용도별로 여러 종류가 있으며, 구조도 다양하다.
압력계의 분류 및 측정원리-1
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• 측정 원리에 따른 분류.
(1) 이미 알고 있는 힘과 측정하려는 압력을 일치시켜 압력을
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rani sensor 의 구조
② 열전대 진공계(Thermocouple Type Vacuum Gauge)
⒜ 측정범위 :
⒝ 특 징 : 연속측정이 가능하며 비교적 견고하다.
Gas의 종류 및 주위온도에 영향을 받는다.
진공도에 비례하는 전기신호 출력이 가능하다.
⒞ 원 리 : Filament의 열용
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auge가 있다.
① McLeod 압력계
일정체적의 측정기체를 압축해 그 압력을 상승시켜, 압축 후의 압력을 압축차법으로 측정해 보일의 법칙을 적용하므로써 압축전의 압력을 구하는 원리의 진공계이다
여기서, h, V, s, ρ, g는 각각 모세관 내의 수은
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